8486909002

8486100001

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства булей или пластин, работающие с использованием процессов светового или фотонного излучения, кроме лазерного.

8486100009

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства булей или пластин, прочие, в том числе работающие с использованием процесса лазерного излучения.

8486201000

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем с использованием ультразвуковых процессов (работающие станки).

8486209001

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электрон.интегр.схем с использованием светового или фотонного ,кроме лазер.излуч.,используемого в производст.п/п приборов (производстве лазерного процессов работающие электронных излучения используемые прочие интегральных).

8486209002

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем для сухого травления рисунка на полупроводниковых материалах (прочие).

8486209003

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем установки для удаления фоторезиста или очистки полупроводниковых пластин (прочие).

8486209004

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины гибочные, кромкогибочные, правильные (включая прессы), используемые в производстве полупроводниковых приборов (схем для или аппаратура электронных прочие интегральных и производства).

8486209005

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства п/п приборов или электронных интегр.схем: аппаратура для проецирования или нанесения рисунка маски на сенсибилизированные п/п материалы (полупроводниковые полупроводниковых прочие интегральных).

8486209009

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства п/п приборов или электронных интегр.схем, прочие (интегральных полупроводниковых).

8486301000

Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части. Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности. Машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей: установки для химического осаждения из паровой фазы на подложки жидкокристалличесских устройств (жидкокристаллических).